CF-SN氮化硅粉主要用作脱模剂,喷涂在高纯石英坩埚内表面,是多晶硅铸锭生产必需的产品。
我公司生产的CF-SN氮化硅粉采用独特工艺制备,使用高纯硅料为原料,并采用多级粒度精确配比、全流程多级净化纯化技术,生产流程可控反应性强,保证了产品具有纯度高、粒度分布窄和稳定性好的特点。
| 检测项目 | 单位 | 指标范围 | 检测设备或方法 |
| N | % | >39 | 凯氏定氮法 GB/T 16555-2017 |
| O | % | ≤1.0 | 惰气脉冲红外热导法 GB/T 16555-2017 |
| C | % | ≤0.2 | 高频红外定碳仪 GB/T 16555-2017 |
| Fe | ppm | ≤5 | ICP-MS GB/T 30902-2014 |
| AI | ppm | ≤5 | |
| Ca | ppm | ≤5 | |
| Mn | ppm | ≤5 | |
| Cu | ppm | ≤5 | |
| D50 | μm | 2 | 激光粒度分析仪 GB/T 19077-2016 |